OLED的制造措施是将有机资料以真空热蒸镀法(thermal vacuum evaporation)成膜于ITO基板上,然后再将金属阴极以热蒸镀或溅镀(sputter)的方式堆积上去,而高分子资料由于无法热蒸镀,因而都以湿式制程如旋转涂布(spin coating)和喷墨法(ink-jet)成膜。全彩化显现应用是未来OLED技术主要的趋向,每一环节都影响OLED全彩面板量产的难易,也是此技术能否起飞的关键。现今提出的OLED全彩化措施可分红五种,分别是: ①RGB像素并置法。 ②色转换法。 ③彩色滤光片法。 ④微共振声调色法。 ⑤多层堆栈法。 红、蓝、绿像素并置法(side-by-side Pixelation)是将红、蓝、绿三个OLED并置于基板上成为三原色像素, Kodak取得此措施的专利优先主张权,此措施是目前展开最成熟的,不论是小分子或高分子皆以此技术为基础,最早量产或试产的一些产品也都是应用此措施,中国台湾厂商也以此技术为展开重心。 其制造措施是在蒸镀红、蓝、绿其中一组有机资料时,应用屏蔽(shadow mask)将另外两个像素遮盖,然后应用高精度的对位系统移动屏蔽或基板,再继续下一像素的蒸镀,在制造高分辨率的面版时,由于像素及间距都变小,相对的屏蔽启齿也变小,因而对位系统的精准度、屏蔽启齿尺寸的误差和屏蔽启齿阻塞及污染问题是一个关键,目前量产机台的对位系统误差为±5μm。另外因屏蔽热胀冷缩所招致的形变,也是影响对位精准度的要素,目前,日本OPTNICS精密胜利开发了热收缩率只需原来1/10的有机EL蒸镀屏蔽。 原来的蒸镀屏蔽大多运用镍或不锈钢资料,镍屏蔽和不锈钢屏蔽的热收缩率分别为12.8ppm/℃和17.3ppm/℃,比有机EL面板采用的玻璃底板(5ppm/℃)大2~3倍。而OPTNICS新开发的蒸镀屏蔽最低可抵达1ppm/℃左右。金属屏蔽传统上是应用蚀刻或雷射切割制造,高分辨率的屏蔽特别昂贵,而且一片屏蔽的寿命有限,因而必须有降低成本的措施来制造。SynovaSA公司发表应用water je tguided laser技术,应用微细水柱当作波导媒介,能够精准(±几个μm)、快速(每小时25,00030,000个启齿)地制造4代大小的金属屏蔽,水柱在此也有移除热应力及金属碎屑的作用。 针对此全彩化措施不容易抵达高分辨率面板的问题,友达光电提出将像素微小化技术,也就是每个屏蔽启齿蒸镀两个以上的相同颜色像素,如此可在不更动屏蔽启齿大小下,增加面板的分辨率。应用此技术友达光电运用分辨率为135ppi的屏蔽可制造出分辨率为270ppi的3英寸面板。另外假如能够降低屏蔽数目,也是减少量率损失和简化制程的一种措施,Samsung SDI将蓝光像素的屏蔽舍去,蓝光发光层作为红、蓝、绿像素的共通层,只需将再分离区域控制在靠近空穴传送层(HTL)处,如此红、绿像素的发光并不会遭到蓝光发光层的干扰,只需两片屏蔽即抵达全彩显现。 |